高纯硅粉化学气相沉积炉工艺依靠精细设计，综合利用热能，扩大设备，从而增加单炉产量，显著降低功耗。通过计算机模拟计算，优化进料口分布，设计各种进气喷嘴，满足还原炉内温度场、流场和物料浓度均匀分布的要求。在降低功耗和材料消耗的情况下，更有利于生长出表面平整、直径均匀致密的产物。

冷氢化广泛用于有效回收高纯硅粉副产物。在国内生产企业中，几乎无一例外地采用冷氢化工艺处理副产物。近三年来，此类生产企业总冷加氢能力达到每年3145万吨，单个装置较大加氢能力达到15万吨/年，电耗约为0.5千瓦时/千克-三氯乙烯，比热加氢低70％以上。

副产品的综合利用。在高纯硅粉工艺中，副产物包净化后返回系统使用；在大多数公司中，副产物二氧化硅和四氯化硅在催化剂的存在下被歧化以产生二氧化硅，被纯化并返回系统使用。HCl送至合成或直接送至冷氢化。通过这一措施，原材料消耗大大减少。

通过吸附除杂、加压蒸馏提纯高纯硅粉有效筛板结合填料，以及提纯耦合工艺的开发应用，提高了产品质量，大大降低了能耗。典型企业蒸汽消耗由2009年的200吨/吨-降低到目前的30吨/吨以下，蒸汽消耗降低70％以上。压力耦合净化工艺还取消或减少了塔顶循环水消耗45％ ~ 70％。

安全环保。此类产品生产一度被认为是“高污染”行业，是高纯硅粉生产过程中的副产物四氯化硅造成的。四氯化硅可以作为多晶硅的原料，通过加氢工艺可以低成本转化为三氯化硅，并返回系统使用；也可用于生产高科技产品。这些都是降低生产成本的有效手段。近年来，国内企业工艺升级，管理加强，环保部门规范在线监测，人们的环保意识逐步增强。

在目前高纯硅粉工艺没有取得革命性突破的情况下，判断企业能否生存是一个简单明了的标准。国内的冶炼工艺也在不断的发展与完善。